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제품선정가이드 | 엠케이프리시젼(주)

PRODUCT

필터 초기화하기
기능
유량(N2환산기준)

~
방폭

비방폭

방폭(ZONE 2)

신호

모두가능

Analog

Digital
작동원리

열식

차압식
제품시리즈

제품선정가이드 목록

Total 4건 1 페이지

4
- EXO-145
- ◆100 ~ 400 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
3
- EXO-140
- ◆50 ~ 200 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
2
- EXO-120
- ◆1.5 ~ 50 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%
1
- EXO-110
- ◆5 sccm ~ 1.5 slm
- ◆제어범위: 풀스케일 기준 2 ~ 100%
- ◆ 정확도: 풀스케일 기준 ≤ ± 1%